SPPL聚丙烯膜CMP浆液过滤滤芯有什么作用？

SPPL聚丙烯膜CMP浆液过滤滤芯有什么作用？

CMP即化学机械平面化是用于制造半导体工业中晶圆的抛光工艺，通常由于运输或处理问题，干燥以及浆料分配系统内的相互作用，浆料再运输到晶圆表面的过程中会带入大颗粒杂质，会对半导体晶片表面造成损伤。

SPPL系列CMP浆液过滤聚丙烯折叠滤芯就是专为微电子器件中的化学机械抛光浆料过滤而设计的。滤芯采用熔喷工艺，形成等分布的均匀颗粒，滤材内部呈三维微孔结构，微孔孔径顺滤液方向梯状分布，能有效截留不同大小的颗粒。有效提高过滤效率的同时，还解决了滤芯容易堵塞的问题，延长滤芯的使用寿命。

SPPL聚丙烯膜CMP浆液过滤滤芯的优点：

1、滤袋过滤孔径成梯状分布，对可能造成晶片表面伤害的团状颗粒敏感，能实现有效过滤并延长滤芯使用寿命。

2、滤芯化学性能稳定，耐酸耐碱性液体。

3、滤芯采用热熔工艺，密封性良好，且通过性好，适用于大部分型号。

4、滤芯过滤面积大、过滤效率高、有效提高晶片的成品率。